1. Precarpathian National University Repository
  2. Періодичні видання ПНУ
  3. Наукові журнали
  4. Фізика і хімія твердого тіла
  5. 2017
  6. Т 18, № 3
Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/956
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorБончик, Олександр Юрійович-
dc.contributor.authorКияк, Степан Григорович-
dc.contributor.authorМогиляк, Іван Адріанович-
dc.contributor.authorПопович, Дмитро Іванович-
dc.date.accessioned2019-11-22T08:06:09Z-
dc.date.available2019-11-22T08:06:09Z-
dc.date.issued2017-
dc.identifier.citationБончик О. Ю. Особливості формування морфології поверхні кремнієвих пластин при дії лазерних імпульсів / О. Ю. Бончик, С. Г. Кияк, І. А. Могиляк, Д. І. Попович // Фізика і хімія твердого тіла. - 2017. - Т. 18. - № 3. - С. 309-312.uk_UA
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/123456789/956-
dc.description.abstractВ роботі проведено експериментальні дослідження особливостей геометрії поверхні кремнієвих пластин в зонах дії секундних і мілісекундних лазерних імпульсів. Наведені результати мікроскопічних досліджень періодичних структур, які формуються на поверхнях з кристалографічною орієнтацією (111), (110), (100), а також на площинах, вирізаних під кутом 6о до площини (100) і на аморфних шарах В2О3, нанесених на поверхню кремнію. Одержані результати можуть бути використані для визначення кристалографічної орієнтації поверхні напівпровідників та експресної оцінки ступеня розорієнтації поверхні кристалів.uk_UA
dc.language.isoenuk_UA
dc.publisherДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника"uk_UA
dc.subjectелектронно-діркова плазмаuk_UA
dc.subjectрекристалізована областьuk_UA
dc.subjectперіодичні структуриuk_UA
dc.titleОсобливості формування морфології поверхні кремнієвих пластин при дії лазерних імпульсівuk_UA
dc.title.alternativePeculiarities of Morphology Formation of Silicon Surface under the Action of Laser Pulsesuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
Appears in Collections:Т 18, № 3

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2269-6439-1-PB.pdf1.81 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.