1. Precarpathian National University Repository
  2. Періодичні видання ПНУ
  3. Наукові журнали
  4. Фізика і хімія твердого тіла
  5. 2017
  6. Т 18, № 3
Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: http://hdl.handle.net/123456789/956
Назва: Особливості формування морфології поверхні кремнієвих пластин при дії лазерних імпульсів
Інші назви: Peculiarities of Morphology Formation of Silicon Surface under the Action of Laser Pulses
Автори: Бончик, Олександр Юрійович
Кияк, Степан Григорович
Могиляк, Іван Адріанович
Попович, Дмитро Іванович
Ключові слова: електронно-діркова плазма
рекристалізована область
періодичні структури
Дата публікації: 2017
Видавництво: ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника"
Бібліографічний опис: Бончик О. Ю. Особливості формування морфології поверхні кремнієвих пластин при дії лазерних імпульсів / О. Ю. Бончик, С. Г. Кияк, І. А. Могиляк, Д. І. Попович // Фізика і хімія твердого тіла. - 2017. - Т. 18. - № 3. - С. 309-312.
Короткий огляд (реферат): В роботі проведено експериментальні дослідження особливостей геометрії поверхні кремнієвих пластин в зонах дії секундних і мілісекундних лазерних імпульсів. Наведені результати мікроскопічних досліджень періодичних структур, які формуються на поверхнях з кристалографічною орієнтацією (111), (110), (100), а також на площинах, вирізаних під кутом 6о до площини (100) і на аморфних шарах В2О3, нанесених на поверхню кремнію. Одержані результати можуть бути використані для визначення кристалографічної орієнтації поверхні напівпровідників та експресної оцінки ступеня розорієнтації поверхні кристалів.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): http://hdl.handle.net/123456789/956
Розташовується у зібраннях:Т 18, № 3

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
2269-6439-1-PB.pdf1.81 MBAdobe PDFПереглянути/Відкрити
Показати повний опис матеріалу Перегляд статистики


Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.