Структурні та оптичні властивості тонких плівок ZnO, легованих Co та Ni, отриманих методом іонно-плазмового напилення

Abstract

В роботі представлено результати експериментального дослідження структурних та оптичних властивостей тонких плівок ZnО, легованих Co та Ni, отриманих методом іонно-плазмового напилення. Композиційні мішені отримувались шляхом змішування та пресування порошкоподібних оксидів ZnO, Mn3O4, CoO та NiO. Тонкі плівки осаджувались на кварцевих, сапфірових та скляних підкладках. Отримані результати структурних досліджень свідчать про ріст плівок в гексагональній вюрцитній структурі з переважною орієнтацією (002) без утворення вторинних фаз. ТЕМ зображення поперечного перерізу всіх досліджених зразків свідчать про щільну наностержневу будову плівок вздовж напрямку зростання. Результати атомарно-силової мікроскопії демонструють складну морфологію поверхонь отриманих плівок, яка залежить від компонентного складу та умов їх одержання. В спектрах поглинання виявлено зменшення ширини забороненої зони плівок із зростанням вмісту кобальту та складну її залежність при зростанні вмісту нікелю. У спектрах фотолюмінесценції при кімнатній температурі для всіх досліджуваних плівок виявлено смуги випромінювання, що відповідають екситонним переходам поблизу краю фундаментального поглинання та наявним домішкам і дефектам.