Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/917
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorВоісін, Леандро-
dc.contributor.authorОтсука, Макото-
dc.contributor.authorПетровська, Світлана Степанівна-
dc.contributor.authorІльків, Богдан Ігорович-
dc.contributor.authorСергієнко, Руслан-
dc.contributor.authorНакамура, Такаші-
dc.date.accessioned2019-11-19T13:36:15Z-
dc.date.available2019-11-19T13:36:15Z-
dc.date.issued2017-
dc.identifier.citationВоісін Л. Індійзберігаючі тонкі плівки оксиду індію-олова, нанесенні методом магнетронного напилення при кімнатній температурі / Л. Воісін, М. Отсука, С. Петровська, Б. І. Ільків, Р. Сергієнко, Т. Накамура // Фізика і хімія твердого тіла. - 2017. - Т. 18. - № 1. - С. 69-74.uk_UA
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/123456789/917-
dc.description.abstractІндійзберігаючі тонкі плівки оксиду індію-олова нанесені за допомогою магнетронного напилення вчистому аргоні та в змішаній атмосфері аргон-кисень при кімнатній температурі. Для плівок, нанесених вчистому аргоні та підданих термообробці при 923 K величина пропускання плівки у видимій областіспектра перевищувала 85% , а питомий опір становив 2420 мкОм·см. Індійзберігаючі тонкі плівки оксидуіндію-олова безпосередньо після напилення аморфні, та їх кристалічність покращується з підвищеннямтемператури термообробки. Було встановлено, що зростання температури термообробки не підвищуєпропускання плівок при швидкості потоку кисню, що перевищував 0,4 см3/хвuk_UA
dc.language.isouk_UAuk_UA
dc.publisherДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника"uk_UA
dc.subjectіндійзберігаючі плівки оксиду індію-оловаuk_UA
dc.subjectмагнетронне напиленняuk_UA
dc.subjectелектричнівластивостіuk_UA
dc.subjectоптичні властивостіuk_UA
dc.titleІндійзберігаючі тонкі плівки оксиду індію-олова, нанесенні методом магнетронного напилення при кімнатній температуріuk_UA
dc.title.alternativeIndium Saving Indium Tin Oxide thin Films Deposited by Sputtering at Room Temperatureuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
Appears in Collections:Т 18, № 1

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2253-6391-1-PB.pdf753.82 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.