Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/917
Title: Індійзберігаючі тонкі плівки оксиду індію-олова, нанесенні методом магнетронного напилення при кімнатній температурі
Other Titles: Indium Saving Indium Tin Oxide thin Films Deposited by Sputtering at Room Temperature
Authors: Воісін, Леандро
Отсука, Макото
Петровська, Світлана Степанівна
Ільків, Богдан Ігорович
Сергієнко, Руслан
Накамура, Такаші
Keywords: індійзберігаючі плівки оксиду індію-олова
магнетронне напилення
електричнівластивості
оптичні властивості
Issue Date: 2017
Publisher: ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника"
Citation: Воісін Л. Індійзберігаючі тонкі плівки оксиду індію-олова, нанесенні методом магнетронного напилення при кімнатній температурі / Л. Воісін, М. Отсука, С. Петровська, Б. І. Ільків, Р. Сергієнко, Т. Накамура // Фізика і хімія твердого тіла. - 2017. - Т. 18. - № 1. - С. 69-74.
Abstract: Індійзберігаючі тонкі плівки оксиду індію-олова нанесені за допомогою магнетронного напилення вчистому аргоні та в змішаній атмосфері аргон-кисень при кімнатній температурі. Для плівок, нанесених вчистому аргоні та підданих термообробці при 923 K величина пропускання плівки у видимій областіспектра перевищувала 85% , а питомий опір становив 2420 мкОм·см. Індійзберігаючі тонкі плівки оксидуіндію-олова безпосередньо після напилення аморфні, та їх кристалічність покращується з підвищеннямтемператури термообробки. Було встановлено, що зростання температури термообробки не підвищуєпропускання плівок при швидкості потоку кисню, що перевищував 0,4 см3/хв
URI: http://hdl.handle.net/123456789/917
Appears in Collections:Т 18, № 1

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2253-6391-1-PB.pdf753.82 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.