Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/917
Title: | Індійзберігаючі тонкі плівки оксиду індію-олова, нанесенні методом магнетронного напилення при кімнатній температурі |
Other Titles: | Indium Saving Indium Tin Oxide thin Films Deposited by Sputtering at Room Temperature |
Authors: | Воісін, Леандро Отсука, Макото Петровська, Світлана Степанівна Ільків, Богдан Ігорович Сергієнко, Руслан Накамура, Такаші |
Keywords: | індійзберігаючі плівки оксиду індію-олова магнетронне напилення електричнівластивості оптичні властивості |
Issue Date: | 2017 |
Publisher: | ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника" |
Citation: | Воісін Л. Індійзберігаючі тонкі плівки оксиду індію-олова, нанесенні методом магнетронного напилення при кімнатній температурі / Л. Воісін, М. Отсука, С. Петровська, Б. І. Ільків, Р. Сергієнко, Т. Накамура // Фізика і хімія твердого тіла. - 2017. - Т. 18. - № 1. - С. 69-74. |
Abstract: | Індійзберігаючі тонкі плівки оксиду індію-олова нанесені за допомогою магнетронного напилення вчистому аргоні та в змішаній атмосфері аргон-кисень при кімнатній температурі. Для плівок, нанесених вчистому аргоні та підданих термообробці при 923 K величина пропускання плівки у видимій областіспектра перевищувала 85% , а питомий опір становив 2420 мкОм·см. Індійзберігаючі тонкі плівки оксидуіндію-олова безпосередньо після напилення аморфні, та їх кристалічність покращується з підвищеннямтемператури термообробки. Було встановлено, що зростання температури термообробки не підвищуєпропускання плівок при швидкості потоку кисню, що перевищував 0,4 см3/хв |
URI: | http://hdl.handle.net/123456789/917 |
Appears in Collections: | Т 18, № 1 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
2253-6391-1-PB.pdf | 753.82 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.