1. Precarpathian National University Repository
  2. Періодичні видання ПНУ
  3. Наукові журнали
  4. Фізика і хімія твердого тіла
  5. 2020
  6. Т. 21, № 2
Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/7997
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorМогиляк, Іван Адріанович-
dc.contributor.authorБончик, Олександр Юрійович-
dc.contributor.authorКорній, Сергій Андрійович-
dc.contributor.authorКияк, Степан Григорович-
dc.contributor.authorПопович, Дмитро Іванович-
dc.date.accessioned2020-09-09T06:59:57Z-
dc.date.available2020-09-09T06:59:57Z-
dc.date.issued2020-
dc.identifier.citationМогиляк С. А. Лазерне формування періодичних мікро- наноструктур на поверхні монокристалічного кремнію / С. А. Могиляк, О. Ю. Бончик, С. А. Корній, С. Г. Кияк, Д. І. Попович // Фізика і хімія твердого тіла. - 2020. - Т. 21. - № 2. - С. 215-218.uk_UA
dc.identifier.other10.15330/pcss.21.2.215-218-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/123456789/7997-
dc.description.abstractВ роботі проведено експериментальні дослідження особливостей утворення лазер-індукованих періодичних наноструктур на поверхні кремнієвих пластин в зонах дії секундних, мілісекундних і наносекундних лазерних імпульсів. Наведені результати мікроскопічних досліджень оптичним і електронним мікроскопом періодичних структур, які формуються на поверхнях з кристалографічною орієнтацією (111), (100). Одержані результати можуть бути використані для оптимізації режиму імпульсного лазерного впливу з метою контрольованого наноструктурування поверхні напівпровідників для цілей мікроелектроніки та фотовольтаїки.uk_UA
dc.language.isoenuk_UA
dc.publisherДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника"uk_UA
dc.subjectлазер-індуковані періодичні поверхневі структуриuk_UA
dc.subjectнаноструктуруванняuk_UA
dc.subjectелектронно-діркова плазмаuk_UA
dc.subjectрекристалізована областьuk_UA
dc.titleЛазерне формування періодичних мікро- наноструктур на поверхні монокристалічного кремніюuk_UA
dc.title.alternativeLaser Formation of Periodic Micro- and Nanostructures on the Surface of Monocrystalline Siliconuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
Appears in Collections:Т. 21, № 2

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
3584-Текст статті-8181-1-10-20200701.pdf568 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.