1. Precarpathian National University Repository
  2. Періодичні видання ПНУ
  3. Наукові журнали
  4. Фізика і хімія твердого тіла
  5. 2020
  6. Т. 21, № 2
Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: http://hdl.handle.net/123456789/7997
Назва: Лазерне формування періодичних мікро- наноструктур на поверхні монокристалічного кремнію
Інші назви: Laser Formation of Periodic Micro- and Nanostructures on the Surface of Monocrystalline Silicon
Автори: Могиляк, Іван Адріанович
Бончик, Олександр Юрійович
Корній, Сергій Андрійович
Кияк, Степан Григорович
Попович, Дмитро Іванович
Ключові слова: лазер-індуковані періодичні поверхневі структури
наноструктурування
електронно-діркова плазма
рекристалізована область
Дата публікації: 2020
Видавництво: ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника"
Бібліографічний опис: Могиляк С. А. Лазерне формування періодичних мікро- наноструктур на поверхні монокристалічного кремнію / С. А. Могиляк, О. Ю. Бончик, С. А. Корній, С. Г. Кияк, Д. І. Попович // Фізика і хімія твердого тіла. - 2020. - Т. 21. - № 2. - С. 215-218.
Короткий огляд (реферат): В роботі проведено експериментальні дослідження особливостей утворення лазер-індукованих періодичних наноструктур на поверхні кремнієвих пластин в зонах дії секундних, мілісекундних і наносекундних лазерних імпульсів. Наведені результати мікроскопічних досліджень оптичним і електронним мікроскопом періодичних структур, які формуються на поверхнях з кристалографічною орієнтацією (111), (100). Одержані результати можуть бути використані для оптимізації режиму імпульсного лазерного впливу з метою контрольованого наноструктурування поверхні напівпровідників для цілей мікроелектроніки та фотовольтаїки.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): http://hdl.handle.net/123456789/7997
Розташовується у зібраннях:Т. 21, № 2

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
3584-Текст статті-8181-1-10-20200701.pdf568 kBAdobe PDFПереглянути/Відкрити
Показати повний опис матеріалу Перегляд статистики


Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.