1. Precarpathian National University Repository
  2. Періодичні видання ПНУ
  3. Наукові журнали
  4. Фізика і хімія твердого тіла
  5. 2020
  6. Т. 21, № 2
Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/7997
Title: Лазерне формування періодичних мікро- наноструктур на поверхні монокристалічного кремнію
Other Titles: Laser Formation of Periodic Micro- and Nanostructures on the Surface of Monocrystalline Silicon
Authors: Могиляк, Іван Адріанович
Бончик, Олександр Юрійович
Корній, Сергій Андрійович
Кияк, Степан Григорович
Попович, Дмитро Іванович
Keywords: лазер-індуковані періодичні поверхневі структури
наноструктурування
електронно-діркова плазма
рекристалізована область
Issue Date: 2020
Publisher: ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника"
Citation: Могиляк С. А. Лазерне формування періодичних мікро- наноструктур на поверхні монокристалічного кремнію / С. А. Могиляк, О. Ю. Бончик, С. А. Корній, С. Г. Кияк, Д. І. Попович // Фізика і хімія твердого тіла. - 2020. - Т. 21. - № 2. - С. 215-218.
Abstract: В роботі проведено експериментальні дослідження особливостей утворення лазер-індукованих періодичних наноструктур на поверхні кремнієвих пластин в зонах дії секундних, мілісекундних і наносекундних лазерних імпульсів. Наведені результати мікроскопічних досліджень оптичним і електронним мікроскопом періодичних структур, які формуються на поверхнях з кристалографічною орієнтацією (111), (100). Одержані результати можуть бути використані для оптимізації режиму імпульсного лазерного впливу з метою контрольованого наноструктурування поверхні напівпровідників для цілей мікроелектроніки та фотовольтаїки.
URI: http://hdl.handle.net/123456789/7997
Appears in Collections:Т. 21, № 2

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
3584-Текст статті-8181-1-10-20200701.pdf568 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.