1. Precarpathian National University Repository
  2. Періодичні видання ПНУ
  3. Наукові журнали
  4. Фізика і хімія твердого тіла
  5. 2015
  6. Т. 16, № 4
Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/7546
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorГаврилюк, Олександр Олександрович-
dc.contributor.authorСемчук, Олександр Юрійович-
dc.contributor.authorЛитовченко, Б. В.-
dc.date.accessioned2020-05-27T07:18:07Z-
dc.date.available2020-05-27T07:18:07Z-
dc.date.issued2015-
dc.identifier.citationГаврилюк О. О. Теоретичні та експериментальні дослідження лазерного відпалу нестехіометричних плівок SiOx / O. O. Гаврилюк, О. Ю. Семчук, Б. В. Литовченко // Фізика і хімія твердого тіла. - 2015. - Т. 16. - № 4. - С. 675-678.uk_UA
dc.identifier.other10.15330/pcss.16.4.675-678-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/123456789/7546-
dc.description.abstractВ даній роботі було досліджено розповсюдження температурних профілів та вплив температури на формування наночастинок кремнію в нестехіометричних плівках SiOx після лазерного відпалу. З залученням параболічного рівняння теплопровідності було проведено математичне моделювання формування температурних профілів в нестехіометричній плівці SiOx після лазерного відпалу. Показано, що температура 1800 К на поверхні SiOx достатня для розділення речовини плівки на діоксид кремнію і його наночастинки. ІЧ-дослідження підтвердили таке розмежування.uk_UA
dc.language.isouk_UAuk_UA
dc.publisherДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника"uk_UA
dc.subjectнестехіометричні плівкиuk_UA
dc.subjectкремнійuk_UA
dc.subjectдіоксидuk_UA
dc.titleТеоретичні та експериментальні дослідження лазерного відпалу нестехіометричних плівок SiOxuk_UA
dc.title.alternativeTheoretical and Experimental Investigations of Laser Annealing Non-Stoichiometric SiOx Filmsuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
Appears in Collections:Т. 16, № 4

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
821-2489-1-SM.pdf166.72 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.