Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
http://hdl.handle.net/123456789/7546
Назва: | Теоретичні та експериментальні дослідження лазерного відпалу нестехіометричних плівок SiOx |
Інші назви: | Theoretical and Experimental Investigations of Laser Annealing Non-Stoichiometric SiOx Films |
Автори: | Гаврилюк, Олександр Олександрович Семчук, Олександр Юрійович Литовченко, Б. В. |
Ключові слова: | нестехіометричні плівки кремній діоксид |
Дата публікації: | 2015 |
Видавництво: | ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника" |
Бібліографічний опис: | Гаврилюк О. О. Теоретичні та експериментальні дослідження лазерного відпалу нестехіометричних плівок SiOx / O. O. Гаврилюк, О. Ю. Семчук, Б. В. Литовченко // Фізика і хімія твердого тіла. - 2015. - Т. 16. - № 4. - С. 675-678. |
Короткий огляд (реферат): | В даній роботі було досліджено розповсюдження температурних профілів та вплив температури на формування наночастинок кремнію в нестехіометричних плівках SiOx після лазерного відпалу. З залученням параболічного рівняння теплопровідності було проведено математичне моделювання формування температурних профілів в нестехіометричній плівці SiOx після лазерного відпалу. Показано, що температура 1800 К на поверхні SiOx достатня для розділення речовини плівки на діоксид кремнію і його наночастинки. ІЧ-дослідження підтвердили таке розмежування. |
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | http://hdl.handle.net/123456789/7546 |
Розташовується у зібраннях: | Т. 16, № 4 |
Файли цього матеріалу:
Файл | Опис | Розмір | Формат | |
---|---|---|---|---|
821-2489-1-SM.pdf | 166.72 kB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.