Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/7546
Title: | Теоретичні та експериментальні дослідження лазерного відпалу нестехіометричних плівок SiOx |
Other Titles: | Theoretical and Experimental Investigations of Laser Annealing Non-Stoichiometric SiOx Films |
Authors: | Гаврилюк, Олександр Олександрович Семчук, Олександр Юрійович Литовченко, Б. В. |
Keywords: | нестехіометричні плівки кремній діоксид |
Issue Date: | 2015 |
Publisher: | ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника" |
Citation: | Гаврилюк О. О. Теоретичні та експериментальні дослідження лазерного відпалу нестехіометричних плівок SiOx / O. O. Гаврилюк, О. Ю. Семчук, Б. В. Литовченко // Фізика і хімія твердого тіла. - 2015. - Т. 16. - № 4. - С. 675-678. |
Abstract: | В даній роботі було досліджено розповсюдження температурних профілів та вплив температури на формування наночастинок кремнію в нестехіометричних плівках SiOx після лазерного відпалу. З залученням параболічного рівняння теплопровідності було проведено математичне моделювання формування температурних профілів в нестехіометричній плівці SiOx після лазерного відпалу. Показано, що температура 1800 К на поверхні SiOx достатня для розділення речовини плівки на діоксид кремнію і його наночастинки. ІЧ-дослідження підтвердили таке розмежування. |
URI: | http://hdl.handle.net/123456789/7546 |
Appears in Collections: | Т. 16, № 4 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
821-2489-1-SM.pdf | 166.72 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.