Формування КМОН схем на GaAs із самосуміщеними нітридними та силіцидними затворами

Новосядлий, Степан Петрович; Терлецький, Андрій Іванович; Фрик, Оксана Богданівна

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/7302

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Новосядлий, Степан Петрович	-
dc.contributor.author	Терлецький, Андрій Іванович	-
dc.contributor.author	Фрик, Оксана Богданівна	-
dc.date.accessioned	2020-05-20T08:59:28Z	-
dc.date.available	2020-05-20T08:59:28Z	-
dc.date.issued	2015	-
dc.identifier.citation	Новосядлий С. П. Формування КМОН схем на GaAs із самосуміщеними нітридними та силіцидними затворами / С. П. Новосядлий, А. І. Терлецький, О. Б. Фрик // Фізика і хімія твердого тіла. - 2015. - Т. 16. - № 2. - С. 420-424.	uk_UA
dc.identifier.other	10.15330/pcss.16.2.420-424	-
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/123456789/7302	-
dc.description.abstract	Розглянуто особливості технологічних процесів формування n- та p-канальних польових транзисторів Шотткі на р-GaAs із самосуміщеним затвором на основі нітриду або силіциду вольфраму, які можуть бути використані для створення швидкодіючих комплементарних логічних схем. Описано низькотемпературну технологію реактивного осадження нітриду вольфраму методом ВЧ-магнетронного розпилення вольфрамової мішені в азотно-аргоновій плазмі.	uk_UA
dc.language.iso	uk_UA	uk_UA
dc.publisher	ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника"	uk_UA
dc.subject	арсенід галію	uk_UA
dc.subject	польові транзистори Шотткі	uk_UA
dc.subject	нітрид вольфраму	uk_UA
dc.subject	силіцид вольфраму	uk_UA
dc.title	Формування КМОН схем на GaAs із самосуміщеними нітридними та силіцидними затворами	uk_UA
dc.title.alternative	Formation CMOS Schemes on GaAs with Self-Aligned Nitride and Silicide Gates	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
Appears in Collections:	Т. 16, № 2

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
773-2403-1-SM.pdf		621.48 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record

DSpace JSPUI

DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets