Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: http://hdl.handle.net/123456789/7269
Назва: Парофазне осадження тонких плівок телуриду свинцю. І. Планування та оптимізація технології
Автори: Лоп'янко, Михайло Антонович
Никируй, Ростислав Іванович
Ткачук, Андрій Іванович
Ключові слова: гаряча стінка
плюмбум телурид
Дата публікації: 15-вер-2010
Видавництво: Прикарпатський національний університет ім. В. Стефаника
Бібліографічний опис: М.А. Лоп’янко. Парофазне осадження тонких плівок телуриду свинцю. І. Планування та оптимізація технології/ М.А. Лоп’янко, Р.І. Никируй, А.І. Ткачук// Фізика і хімія твердого тіла, Т. 11, № 4 (2010) С. 876-883
Короткий огляд (реферат): Методами математичного планування багатофакторних експериментів одержано рівняння регресії, які визначають залежність електричних параметрів епітаксійних плівок РbТe на сколах (111) ВаF2 від технологічних факторів вирощування з парової фази методом гарячої стінки. Визначено значення температур випаровування Тв підкладки Тп та стінок камери Тс, при яких формуються тонкі плівки із оптимальними електричними параметрами.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): http://hdl.handle.net/123456789/7269
ISSN: 1729-4428
Розташовується у зібраннях:Статті та тези (ФТФ)

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
2010 т.11 №4.pdf468.8 kBAdobe PDFПереглянути/Відкрити


Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.