Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/6914
Title: Нанотекстурування кремнію методом каталітичного хімічного травлення
Other Titles: Nanotexturing of Silicon by Metal-Assisted Chemical Etching
Authors: Бережанський, Є. І.
Нічкало, Степан Ігорович
Єрохов, Валерій Юрійович
Дружинін, Анатолій Олександрович
Keywords: кремнієві наноструктури
фотоелектричний перетворювач
каталітичне хімічне травлення
Issue Date: 2015
Publisher: ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника"
Citation: Бережанський Є. І. Нанотекстурування кремнію методом каталітичного хімічного травлення / Є. І. Бережанський, С. І. Нічкало, В. Ю. Єрохов, А. О. Дружинін // Фізика і хімія твердого тіла. - 2015. - Т. 16. - № 1. - С. 140-144.
Abstract: В даній статті розглянуто метод каталітичного хімічного травлення (MacEtch) як один з ефективних способів структурування кремнієвої поверхні з можливістю ефективного управління геометричними параметрами структур та їх розподілом на поверхні підкладки. Представлено технологію текстурування поверхні та отримано структуровані поверхні кремнію з регулярними та нерегулярними типами поверхонь. Дана технологія може бути застосована для нанотекстурування поверхонь кремнієвих фотоелетричних перетворювачів. Запропоновано модель фотоелектричного перетворювача з кратероподібною текстурою поверхні кремнієвої пластини з підвищеним ККД.
URI: http://hdl.handle.net/123456789/6914
Appears in Collections:Т. 16, № 1

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
726-2313-1-SM.pdf405.54 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.