Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/6914
Title: | Нанотекстурування кремнію методом каталітичного хімічного травлення |
Other Titles: | Nanotexturing of Silicon by Metal-Assisted Chemical Etching |
Authors: | Бережанський, Є. І. Нічкало, Степан Ігорович Єрохов, Валерій Юрійович Дружинін, Анатолій Олександрович |
Keywords: | кремнієві наноструктури фотоелектричний перетворювач каталітичне хімічне травлення |
Issue Date: | 2015 |
Publisher: | ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника" |
Citation: | Бережанський Є. І. Нанотекстурування кремнію методом каталітичного хімічного травлення / Є. І. Бережанський, С. І. Нічкало, В. Ю. Єрохов, А. О. Дружинін // Фізика і хімія твердого тіла. - 2015. - Т. 16. - № 1. - С. 140-144. |
Abstract: | В даній статті розглянуто метод каталітичного хімічного травлення (MacEtch) як один з ефективних способів структурування кремнієвої поверхні з можливістю ефективного управління геометричними параметрами структур та їх розподілом на поверхні підкладки. Представлено технологію текстурування поверхні та отримано структуровані поверхні кремнію з регулярними та нерегулярними типами поверхонь. Дана технологія може бути застосована для нанотекстурування поверхонь кремнієвих фотоелетричних перетворювачів. Запропоновано модель фотоелектричного перетворювача з кратероподібною текстурою поверхні кремнієвої пластини з підвищеним ККД. |
URI: | http://hdl.handle.net/123456789/6914 |
Appears in Collections: | Т. 16, № 1 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
726-2313-1-SM.pdf | 405.54 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.