Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/6406
Title: Eлектронно-променевий запис поверхневих структур на халькогенідних плівках As-S-Se
Other Titles: Electron-Beam Recording of Surface Structures on As-S-Se Chalcogenide Thin Films
Authors: Ревуцька, Людмила Олександрівна
Шиленко, О.
Стронський, Олександр Володимирович
Команіцкий, В.
Біланич, Віталій Степанович
Keywords: халькогенідні тонкі плівки
опромінення електронним пучком
поверхневі наноструктури
Issue Date: 2020
Publisher: ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника"
Citation: Ревуцька Л. О. Eлектронно-променевий запис поверхневих структур на халькогенідних плівках As-S-Se / Л. О. Ревуцька, О. Шиленко, О. В. Стронський, В. Команіцкий, В. С. Біланич // Фізика і хімія твердого тіла. - 2020. - Т. 21. - № 1. - С. 146-150.
Abstract: Досліджено вплив опромінення електронним пучком на аморфну халькогенідну плівку As38S36Se26. Було виявлено утворення конусів з гауссовим профілем на поверхнях плівок після локального опромінення електронами. Проаналізовано залежність висоти поверхневих наноструктур від дози опромінення. Для пояснення електронно-індукованих явищ поверхневої структуризації аморфних плівок As38S36Se26 використана модель акумулювання заряду в області взаємодії плівки та електронного пучка. Визначені часи релаксації зарядів, глибина проникнення електронного пучка в плівку, початкова та інверсна дози.
URI: http://hdl.handle.net/123456789/6406
Appears in Collections:Т.21 № 1

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
4059-13037-1-PB.pdf790.03 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.