Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/6406
Title: | Eлектронно-променевий запис поверхневих структур на халькогенідних плівках As-S-Se |
Other Titles: | Electron-Beam Recording of Surface Structures on As-S-Se Chalcogenide Thin Films |
Authors: | Ревуцька, Людмила Олександрівна Шиленко, О. Стронський, Олександр Володимирович Команіцкий, В. Біланич, Віталій Степанович |
Keywords: | халькогенідні тонкі плівки опромінення електронним пучком поверхневі наноструктури |
Issue Date: | 2020 |
Publisher: | ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника" |
Citation: | Ревуцька Л. О. Eлектронно-променевий запис поверхневих структур на халькогенідних плівках As-S-Se / Л. О. Ревуцька, О. Шиленко, О. В. Стронський, В. Команіцкий, В. С. Біланич // Фізика і хімія твердого тіла. - 2020. - Т. 21. - № 1. - С. 146-150. |
Abstract: | Досліджено вплив опромінення електронним пучком на аморфну халькогенідну плівку As38S36Se26. Було виявлено утворення конусів з гауссовим профілем на поверхнях плівок після локального опромінення електронами. Проаналізовано залежність висоти поверхневих наноструктур від дози опромінення. Для пояснення електронно-індукованих явищ поверхневої структуризації аморфних плівок As38S36Se26 використана модель акумулювання заряду в області взаємодії плівки та електронного пучка. Визначені часи релаксації зарядів, глибина проникнення електронного пучка в плівку, початкова та інверсна дози. |
URI: | http://hdl.handle.net/123456789/6406 |
Appears in Collections: | Т.21 № 1 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
4059-13037-1-PB.pdf | 790.03 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.