Структура та морфологія плівок триазенів на основі антрахінону на кремнієвій підкладці

Abstract

Підібрано оптимальний метод нанесення антрахінонових триазенів на кремнієву підкладку для одержання плівок нанометрового розміру, які можна використати як діалектричні ароматичні буферні шари. Дослідження морфології плівок триазенів показало, що на фоні змінної товщини шарів триазенів наявні делокалізовані глобулярні мікроутворення антрахінонових макромолекул в основному сферичної форми. На оксидовану поверхню підкладки триазени наноситься краще, ніж на ті, що без оксиду. Це пов’язано з розподілом електронної густини в триазенах, що створює додаткову систему спряження з Si/SiO2, а наявність об’ємних ароматичних замісників погіршує рівномірність нанесення плівки і зменшує її товщину.