Вплив термовідпалів і способів охолодження на електрофізичні параметри n-Si, легованого домішкою фосфору через розплав і методом ядерної трансмутації

Гайдар, Галина Петрівна

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/566

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Гайдар, Галина Петрівна	-
dc.date.accessioned	2019-10-02T08:52:22Z	-
dc.date.available	2019-10-02T08:52:22Z	-
dc.date.issued	2018	-
dc.identifier.citation	Гайдар Г. П. Вплив термовідпалів і способів охолодження на електрофізичні параметри n-Si, легованого домішкою фосфору через розплав і методом ядерної трансмутації / Г. П. Гайдар // Фізика і хімія твердого тіла. - 2018. - Т. 19. - № 1. - С. 40-47.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/123456789/566	-
dc.description.abstract	У роботі досліджено вплив різних режимів термообробки на кінетику електронних процесів у кристалах кремнію, легованих домішкою фосфору через розплав та методом ядерної трансмутації. Встановлено найбільш значний вплив охолодження при проміжному значенні швидкості охолодження (uохол=15 оС/хв) після високотемпературного відпалу на основні електрофізичні параметри трансмутаційно легованих кристалів n‑Si(P). Виявлено і пояснено особливості змін параметрів анізотропії рухливості і термоерс, виміряних на кристалах кремнію різних способів легування, як у вихідному стані, так і після високотемпературного відпалу при використанні різних швидкостей охолодження.	uk_UA
dc.language.iso	uk_UA	uk_UA
dc.subject	електрофізичні параметри	uk_UA
dc.subject	n-кремній	uk_UA
dc.subject	способи легування	uk_UA
dc.subject	параметри анізотропії	uk_UA
dc.subject	термічний відпал	uk_UA
dc.subject	швидкість охолодження	uk_UA
dc.title	Вплив термовідпалів і способів охолодження на електрофізичні параметри n-Si, легованого домішкою фосфору через розплав і методом ядерної трансмутації	uk_UA
dc.title.alternative	Effect of Thermal Annealings and Cooling Methods on Electrophysical Parameters of n-Si, Doped with Phosphorus Impurity via the Melt and by Nuclear Transmutation Technique	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
Appears in Collections:	Т.19 №1

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
2343-8365-1-PB.pdf		179.43 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record

DSpace JSPUI

DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets