Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/20559
Title: | Дослідження оптичних та електрофізичних властивостей покриттів Mn4Si7 різної товщини |
Other Titles: | Investigation of optical and electrophysical properties of Mn4Si7 coatings of different thickness |
Authors: | Ігамов, Б. Д. Бекпулатов, І. Р. Іманова, Г. Т. Камардін, А. І. Нормуродов, Д. А. |
Keywords: | коефіцієнти пропускання тонке покриття наноструктура питомий опір коефіцієнт Зеєбека |
Issue Date: | 2024 |
Publisher: | Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника |
Citation: | Ігамов Б. Д. Дослідження оптичних та електрофізичних властивостей покриттів Mn4Si7 різної товщини / Б. Д. Ігамов, І. Р. Бекпулатов, Г. Т. Іманова, А. І. Камардін, Д. А. Нормуродов // Фізика і хімія твердого тіла. - 2024. - Т. 25. - № 2. - С. 421-427. |
Abstract: | Дослідження покриттів Mn4Si7 різної товщини показали, що магнетронне осадження практично не змінює складу покриття в порівнянні зі складом мішені. Представлено технологію та основні режими створення необхідних мішеней для установки магнетронного розпилення. Мішені створювали шляхом додавання порошків кремнію та марганцю в необхідній кількості та їх нагрівання в умовах вакууму при високій температурі та тиску. На поверхні діоксиду кремнію із виготовлених мішеней методом магнетронного напилення формували тонкі силіцидні плівки (покриття) різної товщини. Дослідження коефіцієнтів пропускання, поглинання і відбиття покриттів у видимій області спектра показали, що для покриття Mn4Si7 коефіцієнт відбиття практично однаковий на всіх довжинах хвиль. Встановлено, що зі збільшенням товщини тонкого покриття Mn4Si7 коефіцієнт Зеєбека змінюється від 16 мкВ/К до 22 мкВ/К, а опір зменшується від 77 Ом до 20 Ом. |
URI: | http://hdl.handle.net/123456789/20559 |
Appears in Collections: | Т. 25, № 2 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
27_Imanova(e).pdf | 806.59 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.