Development of technology of superconducting multilevel wiring in speed GaAs structures of LSI/VLSI

Новосядлий, Степан Петрович; Котик, Михайло Васильович; Дзундза, Богдан Степанович; Грига, Володимир Михайлович; Новосядлий, Святослав Володимирович; Мандзюк, Володимир Ігорович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/1819

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Новосядлий, Степан Петрович	-
dc.contributor.author	Котик, Михайло Васильович	-
dc.contributor.author	Дзундза, Богдан Степанович	-
dc.contributor.author	Грига, Володимир Михайлович	-
dc.contributor.author	Новосядлий, Святослав Володимирович	-
dc.contributor.author	Мандзюк, Володимир Ігорович	-
dc.date.accessioned	2020-03-23T13:35:01Z	-
dc.date.available	2020-03-23T13:35:01Z	-
dc.date.issued	2018	-
dc.identifier.citation	S. Novosiadlyi, M. Kotyk, B. Dzundza, V. Gryga, S. Novosiadlyi, V. Mandzyuk. Development of technology of superconducting multilevel wiring in speed GaAs structures of LSI/VLSI // Eastern-European Journal of Enterprise Technologies. 2018. V. 1, N. 5(91). P. 53-62.	uk_UA
dc.identifier.issn	1729-3774	-
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/123456789/1819	-
dc.description.abstract	Розглянуто технологічні аспекти використання надпровідних матеріалів та показано можливість виготовлення мішеней для магнетронного осадження плівок для формування кріопровідної розводки в структурах ВІС на основі GaAs. Визначені технологічні методи і режими осадження та розроблено високоефективну технологію виготовлення кріосплавів на основі Al, Nb, V з домішками Si, Ge та РЗМ та магнетронного формування надпровідних плівок із сплавів алюмінію, ніобію та ванадію	uk_UA
dc.language.iso	en	uk_UA
dc.publisher	НПП ЧП «Технологічний Центр»	uk_UA
dc.relation.ispartofseries	V. 1, N. 5(91);	-
dc.subject	комплементарні структури	uk_UA
dc.subject	епітаксія	uk_UA
dc.subject	інтегральні схеми	uk_UA
dc.subject	карбонові плівки	uk_UA
dc.subject	надпровідність	uk_UA
dc.subject	магнетронне осадження	uk_UA
dc.title	Development of technology of superconducting multilevel wiring in speed GaAs structures of LSI/VLSI	uk_UA
dc.title.alternative	Розробка технології надпровідної багаторівневої металізації для високошвидкісних GaAs структур ВІС/НВІС	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
Appears in Collections:	Статті та тези (ФТФ)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
123143-266188-1-PB.pdf		1.59 MB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record

DSpace JSPUI

DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets