Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/1819
Title: | Development of technology of superconducting multilevel wiring in speed GaAs structures of LSI/VLSI |
Other Titles: | Розробка технології надпровідної багаторівневої металізації для високошвидкісних GaAs структур ВІС/НВІС |
Authors: | Новосядлий, Степан Петрович Котик, Михайло Васильович Дзундза, Богдан Степанович Грига, Володимир Михайлович Новосядлий, Святослав Володимирович Мандзюк, Володимир Ігорович |
Keywords: | комплементарні структури епітаксія інтегральні схеми карбонові плівки надпровідність магнетронне осадження |
Issue Date: | 2018 |
Publisher: | НПП ЧП «Технологічний Центр» |
Citation: | S. Novosiadlyi, M. Kotyk, B. Dzundza, V. Gryga, S. Novosiadlyi, V. Mandzyuk. Development of technology of superconducting multilevel wiring in speed GaAs structures of LSI/VLSI // Eastern-European Journal of Enterprise Technologies. 2018. V. 1, N. 5(91). P. 53-62. |
Series/Report no.: | V. 1, N. 5(91); |
Abstract: | Розглянуто технологічні аспекти використання надпровідних матеріалів та показано можливість виготовлення мішеней для магнетронного осадження плівок для формування кріопровідної розводки в структурах ВІС на основі GaAs. Визначені технологічні методи і режими осадження та розроблено високоефективну технологію виготовлення кріосплавів на основі Al, Nb, V з домішками Si, Ge та РЗМ та магнетронного формування надпровідних плівок із сплавів алюмінію, ніобію та ванадію |
URI: | http://hdl.handle.net/123456789/1819 |
ISSN: | 1729-3774 |
Appears in Collections: | Статті та тези (ФТФ) |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
123143-266188-1-PB.pdf | 1.59 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.