Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/16794
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Петров, Вячеслав Васильович | - |
dc.contributor.author | Крючин, Андрій Андрійович | - |
dc.contributor.author | Горбов, Іван Васильович | - |
dc.contributor.author | Панкратова, Антоніна Володимирівна | - |
dc.contributor.author | Манько, Дмитро Юрійович | - |
dc.contributor.author | Бородін, Юрій Олександрович | - |
dc.contributor.author | Шиховець, Олександр Віталійович | - |
dc.date.accessioned | 2023-07-03T08:29:17Z | - |
dc.date.available | 2023-07-03T08:29:17Z | - |
dc.date.issued | 2023 | - |
dc.identifier.citation | Петров В. В. Формування субмікронних рельєфних структур на поверхні сапфірових підкладок / В. В. Петров, А. А. Крючин, І. В. Горбов, А. В. Панкратова, Д. Ю. Манько, Ю. О. Бородін, О. В. Шиховець // Фізика і хімія твердого тіла. - 2023. - Т. 24. - № 2. - С. 298-303. | uk_UA |
dc.identifier.other | 10.15330/pcss.24.2.298-303 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/123456789/16794 | - |
dc.description.abstract | Проведено аналіз технологій, які дозволяють створювати мікрорельєфні структури на поверхні сапфірових підкладок. Показано, що найбільш ефективним методом формування рельєфних структур із субмікронними розмірами є йонно-променеве травлення через сформовану методом фотолітографії захисну маску. Основні проблеми при створенні мікрорельєфу на поверхні сапфірових підкладок полягають у видаленні статичного електричного заряду в процесі йонно-променевого травлення підкладок, а також отриманні захисної маски з вікнами заданих розмірів, через яку здійснюється травлення сапфірової підкладки. | uk_UA |
dc.language.iso | uk_UA | uk_UA |
dc.publisher | Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника | uk_UA |
dc.subject | сапфирові підкладки | uk_UA |
dc.subject | селективне травлення | uk_UA |
dc.subject | захисна маска | uk_UA |
dc.subject | мікрорельефні структури | uk_UA |
dc.title | Формування субмікронних рельєфних структур на поверхні сапфірових підкладок | uk_UA |
dc.title.alternative | Formation of submicron relief structures on the surface of sapphire substrates | uk_UA |
dc.type | Article | uk_UA |
Appears in Collections: | Т. 24, № 2 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
6706-Текст статті-20133-1-10-20230614.pdf | 944.28 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.