1. Precarpathian National University Repository
  2. Періодичні видання ПНУ
  3. Наукові журнали
  4. Фізика і хімія твердого тіла
  5. 2023
  6. Т. 24, № 2
Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/16794
Title: Формування субмікронних рельєфних структур на поверхні сапфірових підкладок
Other Titles: Formation of submicron relief structures on the surface of sapphire substrates
Authors: Петров, Вячеслав Васильович
Крючин, Андрій Андрійович
Горбов, Іван Васильович
Панкратова, Антоніна Володимирівна
Манько, Дмитро Юрійович
Бородін, Юрій Олександрович
Шиховець, Олександр Віталійович
Keywords: сапфирові підкладки
селективне травлення
захисна маска
мікрорельефні структури
Issue Date: 2023
Publisher: Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника
Citation: Петров В. В. Формування субмікронних рельєфних структур на поверхні сапфірових підкладок / В. В. Петров, А. А. Крючин, І. В. Горбов, А. В. Панкратова, Д. Ю. Манько, Ю. О. Бородін, О. В. Шиховець // Фізика і хімія твердого тіла. - 2023. - Т. 24. - № 2. - С. 298-303.
Abstract: Проведено аналіз технологій, які дозволяють створювати мікрорельєфні структури на поверхні сапфірових підкладок. Показано, що найбільш ефективним методом формування рельєфних структур із субмікронними розмірами є йонно-променеве травлення через сформовану методом фотолітографії захисну маску. Основні проблеми при створенні мікрорельєфу на поверхні сапфірових підкладок полягають у видаленні статичного електричного заряду в процесі йонно-променевого травлення підкладок, а також отриманні захисної маски з вікнами заданих розмірів, через яку здійснюється травлення сапфірової підкладки.
URI: http://hdl.handle.net/123456789/16794
Appears in Collections:Т. 24, № 2

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
6706-Текст статті-20133-1-10-20230614.pdf944.28 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.