Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/16794
Title: | Формування субмікронних рельєфних структур на поверхні сапфірових підкладок |
Other Titles: | Formation of submicron relief structures on the surface of sapphire substrates |
Authors: | Петров, Вячеслав Васильович Крючин, Андрій Андрійович Горбов, Іван Васильович Панкратова, Антоніна Володимирівна Манько, Дмитро Юрійович Бородін, Юрій Олександрович Шиховець, Олександр Віталійович |
Keywords: | сапфирові підкладки селективне травлення захисна маска мікрорельефні структури |
Issue Date: | 2023 |
Publisher: | Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника |
Citation: | Петров В. В. Формування субмікронних рельєфних структур на поверхні сапфірових підкладок / В. В. Петров, А. А. Крючин, І. В. Горбов, А. В. Панкратова, Д. Ю. Манько, Ю. О. Бородін, О. В. Шиховець // Фізика і хімія твердого тіла. - 2023. - Т. 24. - № 2. - С. 298-303. |
Abstract: | Проведено аналіз технологій, які дозволяють створювати мікрорельєфні структури на поверхні сапфірових підкладок. Показано, що найбільш ефективним методом формування рельєфних структур із субмікронними розмірами є йонно-променеве травлення через сформовану методом фотолітографії захисну маску. Основні проблеми при створенні мікрорельєфу на поверхні сапфірових підкладок полягають у видаленні статичного електричного заряду в процесі йонно-променевого травлення підкладок, а також отриманні захисної маски з вікнами заданих розмірів, через яку здійснюється травлення сапфірової підкладки. |
URI: | http://hdl.handle.net/123456789/16794 |
Appears in Collections: | Т. 24, № 2 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
6706-Текст статті-20133-1-10-20230614.pdf | 944.28 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.