Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/15295
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Остафійчук, Богдан Костянтинович | - |
dc.contributor.author | Яремій, Іван Петрович | - |
dc.contributor.author | Яремій, Софія Іванівна | - |
dc.contributor.author | Томин, Уляна Олексіївна | - |
dc.contributor.author | Уманців М. М. | - |
dc.date.accessioned | 2023-02-16T08:17:30Z | - |
dc.date.available | 2023-02-16T08:17:30Z | - |
dc.date.issued | 2012 | - |
dc.identifier.citation | Остафійчук Б. К. Аналіз дефектної структури іонно-імплантованих шарів монокристалічних матеріалів / Б. К. Остафійчук, І. П. Яремій, С. І. Яремій, У. О.Томин, М. М. Уманців // Фізика і хімія твердого тіла. - 2012. - Т. 13. - № 4. - С. 883-889. | uk_UA |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/123456789/15295 | - |
dc.description.abstract | Запропоновано методику визначення параметрів дефектів у іонно-імплантованих шарах монокристалів, КДВ яких мають додаткову осциляційну структуру протяжністю до кількох градусів. Виявлено найбільш чутливі до дефектів ділянки кривих дифракційного відбивання та показано, що використання відбивань з малими і великими значеннями статичного фактора Дебая-Валлера дає можливість однозначно визначити тип та характеристики дефектів у порушеному шарі. | uk_UA |
dc.language.iso | uk_UA | uk_UA |
dc.publisher | ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника" | uk_UA |
dc.subject | іонна імплантація | uk_UA |
dc.subject | профіль деформації | uk_UA |
dc.subject | аморфізація | uk_UA |
dc.title | Аналіз дефектної структури іонно-імплантованих шарів монокристалічних матеріалів | uk_UA |
dc.title.alternative | Analysis of the Defect Structure of Ion-Implanted Single Crystal Layers | uk_UA |
dc.type | Article | uk_UA |
Appears in Collections: | Т. 13, № 4 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
1304-06.pdf | 293.69 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.