1. Precarpathian National University Repository
  2. Періодичні видання ПНУ
  3. Наукові журнали
  4. Фізика і хімія твердого тіла
  5. 2012
  6. Т. 13, № 2
Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/14923
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorФреїк, Дмитро Михайлович-
dc.contributor.authorЯворський, Ярослав Святославович-
dc.contributor.authorПотяк, Володимир Юрійович-
dc.contributor.authorЯворський, Ростислав Святославович-
dc.date.accessioned2023-01-24T09:14:36Z-
dc.date.available2023-01-24T09:14:36Z-
dc.date.issued2012-
dc.identifier.citationФреїк Д. М. Секційні вакуумні нагрівачі для отримання парофазних конденсатів / Д. М Фреїк, Я. С. Яворський, В. Ю. Потяк, Р. С. Яворський // Фізика і хімія твердого тіла. - 2012. - Т. 13. - № 2. - С. 509-511.uk_UA
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/123456789/14923-
dc.description.abstractРозроблено конструкції вакуумних секційних нагрівачів, за допомогою яких можна осаджувати паро фазними методами тонкі плівки і наноструктури напівпровідникових сполук як різної товщини при заданій температурі осадження, так і однакової товщини при різних температурах осадження, а також двошарових структур, у єдиному технологічному циклі без розгерметизації вакуумної системи.uk_UA
dc.language.isouk_UAuk_UA
dc.publisherДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника"uk_UA
dc.subjectтонкі плівкиuk_UA
dc.subjectвакуумні нагрівникиuk_UA
dc.subjectпаро фазні методиuk_UA
dc.titleСекційні вакуумні нагрівачі для отримання парофазних конденсатівuk_UA
dc.title.alternativeSectional Vacuum Heaters for Vapor-Phase Condensatesuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
Appears in Collections:Т. 13, № 2

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
!1302-38.pdf350.99 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.