DSpace JSPUI
DSpace зберігає і дозволяє легкий і відкритий доступ до всіх видів цифрового контенту, включаючи текст, зображення, анімовані зображення, MPEG і набори даних
Дізнатися більше
Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
http://hdl.handle.net/123456789/14923| Назва: | Секційні вакуумні нагрівачі для отримання парофазних конденсатів |
| Інші назви: | Sectional Vacuum Heaters for Vapor-Phase Condensates |
| Автори: | Фреїк, Дмитро Михайлович Яворський, Ярослав Святославович Потяк, Володимир Юрійович Яворський, Ростислав Святославович |
| Ключові слова: | тонкі плівки вакуумні нагрівники паро фазні методи |
| Дата публікації: | 2012 |
| Видавництво: | ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника" |
| Бібліографічний опис: | Фреїк Д. М. Секційні вакуумні нагрівачі для отримання парофазних конденсатів / Д. М Фреїк, Я. С. Яворський, В. Ю. Потяк, Р. С. Яворський // Фізика і хімія твердого тіла. - 2012. - Т. 13. - № 2. - С. 509-511. |
| Короткий огляд (реферат): | Розроблено конструкції вакуумних секційних нагрівачів, за допомогою яких можна осаджувати паро фазними методами тонкі плівки і наноструктури напівпровідникових сполук як різної товщини при заданій температурі осадження, так і однакової товщини при різних температурах осадження, а також двошарових структур, у єдиному технологічному циклі без розгерметизації вакуумної системи. |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | http://hdl.handle.net/123456789/14923 |
| Розташовується у зібраннях: | Т. 13, № 2 |
Файли цього матеріалу:
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| !1302-38.pdf | 350.99 kB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.