Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/14923
Title: | Секційні вакуумні нагрівачі для отримання парофазних конденсатів |
Other Titles: | Sectional Vacuum Heaters for Vapor-Phase Condensates |
Authors: | Фреїк, Дмитро Михайлович Яворський, Ярослав Святославович Потяк, Володимир Юрійович Яворський, Ростислав Святославович |
Keywords: | тонкі плівки вакуумні нагрівники паро фазні методи |
Issue Date: | 2012 |
Publisher: | ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника" |
Citation: | Фреїк Д. М. Секційні вакуумні нагрівачі для отримання парофазних конденсатів / Д. М Фреїк, Я. С. Яворський, В. Ю. Потяк, Р. С. Яворський // Фізика і хімія твердого тіла. - 2012. - Т. 13. - № 2. - С. 509-511. |
Abstract: | Розроблено конструкції вакуумних секційних нагрівачів, за допомогою яких можна осаджувати паро фазними методами тонкі плівки і наноструктури напівпровідникових сполук як різної товщини при заданій температурі осадження, так і однакової товщини при різних температурах осадження, а також двошарових структур, у єдиному технологічному циклі без розгерметизації вакуумної системи. |
URI: | http://hdl.handle.net/123456789/14923 |
Appears in Collections: | Т. 13, № 2 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
!1302-38.pdf | 350.99 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.