Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/14241
Title: | Дислокаційні сітки як основа меза-структури в деформаційних методах отримання квантових точок |
Other Titles: | Dislocation Nets as Basis of Bellow-Structure is in the Deformation Methods of Receipt of Quantum Points |
Authors: | Кулініч, Олег Анатолійович |
Keywords: | кремній окислення дефекти іонне легування |
Issue Date: | 2012 |
Publisher: | ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника" |
Citation: | Кулініч О. А. Дислокаційні сітки як основа меза-структури в деформаційних методах отримання квантових точок / О. А. Кулініч // Фізика і хімія твердого тіла. - 2012. - Т. 13. - № 2. - С. 336-339. |
Abstract: | В даній роботі на основі використання сучасних методів досліджень в комбінації з методами хімічного селективного травлення вивчалася структура приповерхневого шару кремнію після окислення і іонного легування яка складалась з області полікристалічного кремнію і області, що містить дислокаційні сітки. Проведений порівняльний аналіз властивостей дислокаційних сіток, що виникають при окисленні і легуванні. Показано, що дислокаційні сітки можуть служити основою для створення меза (проміжної) структури в різних деформаційних методах отримання квантових точок. |
URI: | http://hdl.handle.net/123456789/14241 |
Appears in Collections: | Т. 13, № 2 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
!1302-05.pdf | 424.71 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.