Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/14241
Title: Дислокаційні сітки як основа меза-структури в деформаційних методах отримання квантових точок
Other Titles: Dislocation Nets as Basis of Bellow-Structure is in the Deformation Methods of Receipt of Quantum Points
Authors: Кулініч, Олег Анатолійович
Keywords: кремній
окислення
дефекти
іонне легування
Issue Date: 2012
Publisher: ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника"
Citation: Кулініч О. А. Дислокаційні сітки як основа меза-структури в деформаційних методах отримання квантових точок / О. А. Кулініч // Фізика і хімія твердого тіла. - 2012. - Т. 13. - № 2. - С. 336-339.
Abstract: В даній роботі на основі використання сучасних методів досліджень в комбінації з методами хімічного селективного травлення вивчалася структура приповерхневого шару кремнію після окислення і іонного легування яка складалась з області полікристалічного кремнію і області, що містить дислокаційні сітки. Проведений порівняльний аналіз властивостей дислокаційних сіток, що виникають при окисленні і легуванні. Показано, що дислокаційні сітки можуть служити основою для створення меза (проміжної) структури в різних деформаційних методах отримання квантових точок.
URI: http://hdl.handle.net/123456789/14241
Appears in Collections:Т. 13, № 2

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
!1302-05.pdf424.71 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.