Морфологічні та оптичні дослідження тонких плівок InSe/n-Si

Abstract

В даній роботі представлені результати досліджень впливу кристалографічної орієнтації поверхні підкладки на морфологічні та оптичні властивості тонких плівок InSe. Плівки товщиною 15 та 45 нм були вирощені методом газофазної епітаксії на поверхні монокристалічного кремнію з кристалографічними орієнтаціями {100} та {111}. Методом атомно-силової мікроскопії встановлено, що вирощені плівки характеризуються невпорядкованою зернистою структурою, розмір зерна яких збільшується при збільшенні товщини плівки. Оптичні дослідження показали, що при такій товщині плівок їх фізичні параметри є параметрами характерними для аморфних плівок.