Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/13166
Title: | Особливості процесу радіаційного дефектоутворення у приповерхневому шарі імплантованих іонами Si+ плівок залізо-ітрієвого Ґранату |
Authors: | Остафійчук, Богдан Костянтинович Гарпуль, Оксана Зіновіївна Куровець, Валентина Василівна |
Keywords: | ферит-ґранатові плівки іонна імплантація крива дифракційного відбивання профіль підносної деформації |
Issue Date: | 2012 |
Publisher: | Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника |
Citation: | Остафійчук Б. К., Гарпуль О. З., Куровець В. В. Особливості процесу радіаційного дефектоутворення у приповерхневому шарі імплантованих іонами Si+ плівок залізо-ітрієвого Ґранату // Вісник Прикарпатського університету. Серія: Фізика. Функціональні матеріали. – 2012. – Вип. 2. – C. 3-9. |
Abstract: | Проведено математичне моделювання процесу імплантації іонів Si+ у плівку ЗІҐ. Показано, що утворення пар Френкеля та дефектів більш складного типу є рівноймовірним. Теоретично розраховано профіль концентрації радіаційних дефектів, який в основному формується дефектами, утвореними внаслідок пружних взаємодій іона-імплантага з атомами мішені. Експериментально встановлено, що імплантація іонів Si+ у плівки ЗІҐ призводить до утворення в приповерхневому шарі монотонно-спадних профілів відносної деформації. |
URI: | http://hdl.handle.net/123456789/13166 |
Appears in Collections: | № 2 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Остафійчук Б.К., Гарпунь О.З., Куровець В.В. С.3-9.pdf | 291.02 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.