Вплив товщини проміжного шару Ru на електрофізичні властивості тришарової плівкової системи Co/Ru/Co

Abstract

У даній роботі були проведені дослідження структурно-фазового стану та електрофізичних властивостей тришарових плівкових систем Co/Ru/Co/Sub при зміні товщини шару Ru, dRu = 5-20 нм. Було показано, що як у свіжо сконденсованому стані, так і після відпалювання до 800 К, фазовий стан системи відповідає ГЩП-Co + ГЩП-Ru. Були отримані залежності питомого опору та температурного коефіцієнту опору як функції dRu. Показано, що зміна величини питомого опору на першому циклі термообробки стає тим більш сильною, чим більше товщина шару Ru. Величина температурного коефіцієнту опору має порядок 10-4 та збільшується з 5,05×10-4 до 6,42×10-4 K-1 при зміні товщини dRu в діапазоні 0-20 нм.