Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/11173
Title: | Морфологічні особливості нанокремнію, отриманого методом хімічного неелектролітичного травлення |
Other Titles: | Morphological Features of Nanosilicon Fabricated by Metal – Assisted Chemical Etching |
Authors: | Яцунський, Ігор Ростиславович Сминтина, Валентин Андрійович Павленко, Микола Миколайович Свірідова, Ольга Валентинівна Рімашевський, Олександр Аркадійович |
Keywords: | неелектролітичне травлення нанокремній |
Issue Date: | 2013 |
Publisher: | ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника" |
Citation: | Яцунський І. Р. Морфологічні особливості нанокремнію, отриманого методом хімічного неелектролітичного травлення / І. Р. Яцунський, В. А. Сминтина, М. М. Павленко, О. В. Свірідова, О. А. Рімашевський // Фізика і хімія твердого тіла. - 2013. - Т. 14. - № 4. - С. 794-799. |
Abstract: | У роботі досліджено механізми формування нанокремнію новим методом неелектролітичного травлення поверхні в розчинах HF:H2O2:H2O, при різних концентраціях компонент. Показано залежність властивостей і топології поверхні отриманих наноструктур від кількісного співвідношення травника та окислювача в розчині. |
URI: | http://hdl.handle.net/123456789/11173 |
Appears in Collections: | Т. 14, № 4 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
!1404-18.pdf | 421.84 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.