Оптимізована фотоакустична газомікрофонна комірка для контролю теплопровідності напівпровідникових матеріалів

Ліщук, Павло Олександрович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/10500

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Ліщук, Павло Олександрович	-
dc.date.accessioned	2021-07-08T08:40:03Z	-
dc.date.available	2021-07-08T08:40:03Z	-
dc.date.issued	2021	-
dc.identifier.citation	Ліщук П. О. Оптимізована фотоакустична газомікрофонна комірка для контролю теплопровідності напівпровідникових матеріалів / П. О. Ліщук // Фізика і хімія твердого тіла. - 2021. - Т. 22. - № 2. - С. 321-327.	uk_UA
dc.identifier.other	10.15330/pcss.22.2.321-327	-
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/123456789/10500	-
dc.description.abstract	В роботі представлено результати дослідження теплопровідності напівпровідникових матеріалів фотоакустичним (ФА) газомікрофонним (ГМ) методом. Акцентується увага на важливості проектування ФА ГМ комірки та нормування інформативного сигналу, як необхідної вимоги для мінімізації паразитних сигналів, спричиненими як особливостями геометрії ФА комірки, так і внеском електронних компонентів експериментального стенду. Запропонована методика дозволяє швидко та надійно оцінювати теплопровідність різних напівпровідникових матеріалів для кращого розуміння та прогнозування теплового транспорту у таких структурах для їх технологічних застосувань. Для перевірки запропонованого методу діагностики проводився аналіз теплофізичних властивостей монокристалічного кремнію з різним рівнем легуючої домішки бору. Отримані залежності теплопровідності від рівня легуючої домішки добре узгоджуються з відомими літературними даними. Таким чином, результати, отримані в цій роботі, важливі з практичної точки зору.	uk_UA
dc.language.iso	uk_UA	uk_UA
dc.publisher	ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника"	uk_UA
dc.subject	коефіцієнт теплопровідності	uk_UA
dc.subject	монокристалічний кремній	uk_UA
dc.subject	еговані напівпровідники	uk_UA
dc.subject	фотоакустичний газомікрофонний метод	uk_UA
dc.title	Оптимізована фотоакустична газомікрофонна комірка для контролю теплопровідності напівпровідникових матеріалів	uk_UA
dc.title.alternative	Optimized photoacoustic gas-microphone cell for semiconductor materials thermal conductivity monitoring	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
Appears in Collections:	Т. 22, № 2

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
4792-Текст статті-11773-1-10-20210529.pdf		667.04 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record

DSpace JSPUI

DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets