Оптимізована фотоакустична газомікрофонна комірка для контролю теплопровідності напівпровідникових матеріалів

Abstract

В роботі представлено результати дослідження теплопровідності напівпровідникових матеріалів фотоакустичним (ФА) газомікрофонним (ГМ) методом. Акцентується увага на важливості проектування ФА ГМ комірки та нормування інформативного сигналу, як необхідної вимоги для мінімізації паразитних сигналів, спричиненими як особливостями геометрії ФА комірки, так і внеском електронних компонентів експериментального стенду. Запропонована методика дозволяє швидко та надійно оцінювати теплопровідність різних напівпровідникових матеріалів для кращого розуміння та прогнозування теплового транспорту у таких структурах для їх технологічних застосувань. Для перевірки запропонованого методу діагностики проводився аналіз теплофізичних властивостей монокристалічного кремнію з різним рівнем легуючої домішки бору. Отримані залежності теплопровідності від рівня легуючої домішки добре узгоджуються з відомими літературними даними. Таким чином, результати, отримані в цій роботі, важливі з практичної точки зору.