Вплив взаємодії у системі ZnS (ZnO)-Sb2S3-Ge на параметри отримуваних тонких плівок

Abstract

Досліджено обмінні реакції домішки ZnО у сульфіді цинку з добавками Sb2S3 і Ge методами РФА, ІЧ спектроскопії й електронної спектроскопії дифузного відбиття. Установлена можливість повного сульфідування ZnО сульфідом стибію з одержанням однофазного продукту – сфалериту ZnS. Взаємодія в підсистемі Sb2S3 – Ge призводить до утворення склокристалічного композиту. Випробування очищеного від оксидної домішки ZnS, а також композитів ZnS – Ge та Sb2S3 – Ge термічним випаровуванням у вакуумі дозволило одержати тонкоплівкові покриття з високими оптичними й експлуатаційними параметрами.