Особливості електрофізичного діагностування польових транзисторів Шотткі на епітаксійних шарах GaAs на кремнієвих підкладках для мікросистемних використань

Новосядлий, Степан Петрович; Бенько, Тарас Григорович; Когут, Ігор Тимофійович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/1040

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Новосядлий, Степан Петрович	-
dc.contributor.author	Бенько, Тарас Григорович	-
dc.contributor.author	Когут, Ігор Тимофійович	-
dc.date.accessioned	2019-12-13T08:54:06Z	-
dc.date.available	2019-12-13T08:54:06Z	-
dc.date.issued	2019	-
dc.identifier.citation	Новосядлий С. П. Особливості електрофізичного діагностування польових транзисторів Шотткі на епітаксійних шарах GaAs на кремнієвих підкладках для мікросистемних використань / С. П. Новосядлий, Т. Г. Бенько, І. Т. Когут // Фізика і хімія твердого тіла. - 2019. - Т. 20. - № 3. - С. 311-317	uk_UA
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/123456789/1040	-
dc.description.abstract	В даній статті проаналізовано структуру арсенід галієвого ПТШ на кремнієвій підкладці, придатногодля локальної інтеграції в КНІ-технології та метод його електрофізичного діагностування на основі змінтеплового опору RT. Відомо, що теплопровідність GaAs в 3 - 4 рази є гіршою порівняно кремнієм. Щобусунути цей недолік було розроблено технологію формування приладних швидкісних GaAs-структур наповерхні кремнієвої підкладки.	uk_UA
dc.language.iso	uk_UA	uk_UA
dc.subject	арсенід галію	uk_UA
dc.subject	польовий транзистор	uk_UA
dc.subject	тепловий опір	uk_UA
dc.subject	електрофізичне діагностування	uk_UA
dc.title	Особливості електрофізичного діагностування польових транзисторів Шотткі на епітаксійних шарах GaAs на кремнієвих підкладках для мікросистемних використань	uk_UA
dc.title.alternative	Features of Electrophysical Diagnostics of Schottky Field Transistors Based on GaAs Epitaxial Layers on Silicon Substrates for Microsystem Applications	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
Appears in Collections:	Т.20, №3

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
3969-11747-1-PB.pdf		675.72 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record

DSpace JSPUI

DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets