Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/10147
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorВоробець, Марія Михайлівна-
dc.date.accessioned2021-06-10T11:22:58Z-
dc.date.available2021-06-10T11:22:58Z-
dc.date.issued2014-
dc.identifier.citationВоробець М. М. Вплив фінішної хімічної обробки поверхні кремнієвих пластин на десорбцію іонів Ag+ , Fe3+ , Ca2+ / М. М. Воробець // Фізика і хімія твердого тіла. - 2014. - Т. 15. - № 1. - С. 169-172.uk_UA
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/123456789/10147-
dc.description.abstractДосліджено ефективність різних варіантів фінішної хімічної обробки (ФХО), яку застосовують для зменшення неконтрольованого технологічного забруднення поверхні Si-пластин. Показниками якісного і кількісного оцінювання ефективності ФХО обрано величини зміни контактної різниці потенціалів (КРП), роботи виходу електронів (РВЕ) та поверхневого опору. Експериментально встановлено, що адсорбція іонів Fe3+ і Ca2+ призводить до зменшення, а іонів Ag+ – до збільшення величини КРП. Показано, що у випадку обробки Si-пластин в амоніачно-пероксидних розчинах (АПР) ступінь десорбції іонів Феруму не перевищує 40 %, тоді як іони Ag+ десорбуються повністю. Введення в АПР калій гідроксиду, обробка в кислотно-пероксидних розчинах (КПР) або комбінована обробка в АПР+КПР збільшують ступінь десорбції іонів Fe3+ до 100 %. Десорбція іонів Са2+ відбувається з меншою ефективністю, ніж іонів Fe3+ та Ag+.uk_UA
dc.language.isouk_UAuk_UA
dc.publisherДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника"uk_UA
dc.subjectнапівпровідникuk_UA
dc.subjectSi-пластиниuk_UA
dc.subjectадсорбціяuk_UA
dc.subjectдесорбціяuk_UA
dc.titleВплив фінішної хімічної обробки поверхні кремнієвих пластин на десорбцію іонів Ag+ , Fe3+ , Ca2+uk_UA
dc.title.alternativeEffect of Finishing Chemical Treatment of Si-Wafers Surface on the Desorption of Ag+ , Fe3+ , Ca2+ Ionsuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
Appears in Collections:Т. 15, № 1

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
!1501-24.pdf121.73 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.