Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/10127
Title: Фотолюмінесценція поруватих nc-Si/SiOx структур, імплантованих іонами вуглецю
Other Titles: Photoluminescence nc-Si/SiOx Porous Structures Implanted Carbon Ions
Authors: Литовченко, Володимир Григорович
Мельник, Віктор Павлович
Попов, Валентин Георгійович
Федулов, Г. В.
Данько, Віктор Андрійович
Індутний, Іван Захарович
Михайловська, Катерина Василівна
Шепелявий, П. Є.
Keywords: фотолюмінесценція
імплантація
нанокластери
поруваті nc-Si/SiOx структури
Issue Date: 2014
Publisher: ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника"
Citation: Литовченко В. Г. Фотолюмінесценція поруватих nc-Si/SiOx структур, імплантованих іонами вуглецю / В. Г. Литовченко, В. П. Мельник, В. Г. Попов, Г. В. Федулов , В. А. Данько, І. З. Індутний, К. В. Михайловська, П. Є. Шепелявий // Фізика і хімія твердого тіла. - 2014. - Т. 15. - № 1. - С. 107-111.
Abstract: Проведені дослідження впливу імплантації іонів вуглецю на фотолюмінесценцію (ФЛ) поруватих ncSi/SiOx шарів з колоноподібною структурою, сформованих за допомогою осадження у вакуумі під ковзним кутом (glance angle deposition) і подальшого високотемпературного відпалу плівок SiОx. Встановлено, що спектр ФЛ імплантованих структур охоплює майже всю видиму та ближню ІЧ область і включає дві основні складові з максимумами в області 520 - 570 та 620 – 680 нм. Довгохвильова смуга ФЛ пов'язана з наночастками кремнію, а випромінювання у видимій області спектру може бути зумовлене люмінесценцією вуглецевих преципітатів та SiC нанокластерів. В результаті селективного травлення таких структур у парах HF інтенсивність ФЛ в усьому спектральному інтервалі значно зростає (до двох порядків) внаслідок пасивації центрів безвипромінювальної рекомбінації.
URI: http://hdl.handle.net/123456789/10127
Appears in Collections:Т. 15, № 1

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
!1501-16.pdf131.84 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.